S neox Grand Format 为半导体等行业大尺寸产品的表面三维测量提供了从硬件到软件的完整解决方案。
优秀的测量能力
600 x 600 毫米的宽广移动范围，每秒1米的惊人速度。闭环 XY 龙门架设计，无惧重量限制，性能始终如一。
三合一技术：干涉、共聚焦，AI多焦面叠加
超高的测量通用性
无尘测量头 S neox Cleanroom 提供三种不同的光学技术，可针对每个特定样品使用适合的技术进行成像，实现亚纳米级精度。
适用于无尘间
测量传感器符合 ISO 1 级标准。机身由不锈钢制成，可减少微粒排放。
内置采集软件：一体化软件解决方案
该测量系统由易于使用的 SensoSCAN 控制，它为测量自动化提供了更多且更强大的功能。
快速质量控制：基于插件的解决方案
SensoPRO 拥有大量插件，可满足常见的自动化分析需求和定制应用。
为消费电子产品量身定制的解决方案
SensoPRO 软件可在质量控制中实现分析自动化，高效处理大量数据。我们提供了一系列定制插件，以满足消费电子行业的特殊要求。
SensoVIEW功能强大的分析软件
拓宽分析视野
SensoVIEW 是适用于各种任务的理想分析软件。它拥有一套完整的工具包，可从二维和三维数据集中提取数据。
表面分析
SensoVIEW 为专门的操作人员提供了用户友好型的分步式界面，可按照相应的 ISO 标准提取平面度和表面纹理参数、进行体积计算等。
尺寸测量
有多种工具可用于轮廓和剖面图的关键尺寸分析。每种工具都配备了自动调整功能，并能纳入公差，确保能进行全面的尺寸分析。
